SimbaTM 88011
全氟化彈性體密封件
Perfluoroelastomer
- 卓越物理機械密封穩定性
- 適合應用在NF3或O2-CF4電漿氣體的環境。對於產品清潔度、高溫密封性能穩定性、彈性體裂解特性(Crack)與重量損失率，均能表現出極優異且穩定之特性。
- 具有優異的物理特性，並採用專利之聚合技術，大幅提高裂解溫度性能(無氧環境TGA測試)。
- 連續操作溫度可達285℃
- 對於在鋁件接著應用上，搭配專利接著技術，可應用於閉合閘門密封件(Bonded Gate Seals, Slit Valve Seals)。亦能充分表現出本產品之優異性能。
- 本產品之最後包裝與清潔均於無塵室內完成。
- 典型物理特性
- 硬度 (Shore A)
- 顏色
- 模數 (100 % Modulus)
- 拉伸強度 (Tensile, MPa)
- 延伸率 (Elongation, %)
- 壓縮變形率 ( %, 70 hr @ 250℃ )
- 最高連續使用溫度 (℃)
- 82
- 米白色
- 3.8
- 15.5
- 230
- 28
- 285
- 特性與優點
- 最適合應用於化學氣相沉積製程
- 極低金屬離子析出物
- 高潔淨度、低汙染
- 適合應用於高溫乾式蝕刻製程
- 長時程、穩定並優異的高溫密封性能
- 廣泛的電漿耐受性
- 極佳的化學耐受性
- 優異的壓縮變形率
- 最高連續使用溫度285℃
- 建議應用位置
- 反應槽密封件 (Chamber Seals)
- 閉合閘門密封件(Bonded Gate Seals)
- 閥件密封件 (Valve Seals)
- 建議應用製程
- 乾式蝕刻(Dry Etch)
- 擴散(Diffusion)
- 離子植入(Ion Implant)
- 快速回火(RTP)
- 化學氣相沉積(CVD, PECVD, HDPCVD, SACVD)
- 氧化製程(Oxidation)